期刊家
学术期刊
科普期刊
出版社
图书
会议
我的购物车 0

MEMS永磁薄膜磁场的设计与仿真

作者:杜川 | 磁场隧道磁阻陀螺永磁体

摘要:由于在MEMS隧道磁阻微机械陀螺中需要一个较高磁场变化率的磁场,其检测模块主要是利用磁场的变化率对位移信息进行敏感,需要利用磁场的变化敏感质量块的位移,所以设计一个具有较高磁场变化率的磁场是十分有必要的。通过仿真分析,设计了一个MEMS隧道磁阻陀螺中应用的磁场,尺寸规格为500μm×500μm×20μm,材料为钕铁硼,相对磁导率为1.18,表面剩磁为1.3T,充磁方向垂直于截面。在此设计规格下,永磁体选用面内方向作为检测方向,磁场的变化率最大可达到0.2 Oe/nm,并且在其他方向上磁场保持一定程度上的匀强,不对检测方向上的磁场产生干扰。

注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社

电子器件

《电子器件》(CN:32-1416/TN)是一本有较高学术价值的大型双月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。

《电子器件》主要刊登真空电子学、微波电子学、光电子学、薄膜电子学、电子显示技术、激光与红外技术、半导体物理与器件、集成电路与微电子技术、光纤技术、真空物理与技术、表面分析技术、传感技术、电子材料与元器件、电光源与照明技术、电子技术应用,并涉及电子科学领域里的最新研究动态。

杂志详情
  • 免费
    咨询
  • 订阅咨询
  • 期刊推荐
  • 关注微信
  • 联系电话
    免费咨询电话
    023-6033-8768